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商品编号:50717
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德国AIXUV极紫外光源与光栅(UV)

价    格:询价

产    地:德国更新时间:2019/7/15 13:41:34

品    牌:AIXUV型    号:

状    态:正常点击量:1646

15665882320
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济南济威生物大发3d有限公司

联 系 人:张经理

电     话:0531-81307925

传     真:

等     级: (第 1年)

性     质:生产型,

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1.安装简单,操作方便;
2.自成独立系统,可通过锆窗与应用真空系统隔离;
3.参数安全设定,符合CE标准;
4.可持久工作,维护费用低(只需电源和氙气)。

德国AixUV公司是世界上第一家提供商用实验室极紫外光源的厂家。公司面向世界范围提供基于等离子体大发3d的极紫外光,远紫外光和X射线产品。
极紫外光(XUV)的波长在1纳米到50纳米之间,包括了通常所说的软X射线和远紫外光(EUV)。

广泛用于:

●纳米电子器件的实验室制作
●纳米电子工业的光刻和工艺优化(如光刻胶优化)
●作为比同步辐射更强烈的光源用于表面物理和表面化学分析研究
 


产品参数

1.2 J / pulse electrical input
2.> 0.4 mJ / sr / pulse EUV inband
3.< 500 mm source diameter FWHM
4.> 50 Hz Reprate
5.Permanent operation 7 days / 24 h
6.Guaranteed 100.000.000 pulses;
Tested up to 230.000.000(> 1200 hours)
7.Flexible head orientation
 




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