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商品编号:49217
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等离子增强化学气相沉积系统(PECVD)

价    格:询价

产    地:美国更新时间:2019/7/15 13:41:34

品    牌:Nano-Master型    号:

状    态:正常点击量:3272

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仕嘉科技发展有限公司

联 系 人:李先生

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等     级: (第 13年)

性     质:生产型,

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美国NANOMASTER公司PECVD(等离子增强化学气相沉积)系统能够沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等。可选用射频(RF)、空阴极高密度等离子体(HCD)源、感应耦合等离子体(ICP)源。该公司采用先进大发3d和稳定可靠的设计为您提供多方位的服务。

应用领域:

1.        等离子诱导表面改性

2.        等离子清洗(NF3)

3.        反应离子蚀刻

4.        等离子体聚合

5.        PECVD沉积SiO2、Si3N4、类金刚石、硬质薄膜等


产品参数

1)   平板尺寸:8”

2)   源直径:5”或8”

3)   气体输入管数量:4(两个反应气,一个载气,一个排空管)

4)   源距平板的距离:2”或者可调

5)   真空:低于E-7Torr,200L/sec涡轮分子泵及3.5cfm机械泵组合

6)   最大平板温度:800℃

7)   射频电源供应:600W,13.5MHz

8)   射频偏压:300W,13.5MHz

产品型号:

NPE-3000 桌面型PECVD系统

NPE-4000 立式型PECVD系统




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