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商品编号:62135
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原子层沉积系统PICOSUN™- P系列

价    格:询价

产    地:芬兰更新时间:2020/5/29 10:34:20

品    牌:Picosun型    号:PICOSUN™- P系列

状    态:正常点击量:712

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北京正通远恒科技有限公司

联 系 人:销售部

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等     级: (第 9年)

性     质:生产型,服务型,

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原子层沉积系统PICOSUN?- P系列ALD大发3d可以覆盖各种形状、各种表面的样品,可以覆盖最 细小的地方,最难到达的地方。具有高度的保形性、均一性及100%无针孔。这使得ALD可以应用于各种行业里,实现各种表面的保护。ALD薄膜可以附着在各种表面上,例如金属,玻璃,塑料,乃至纤维及粉末。作为气相、低温的沉积大发3d,ALD薄膜可以生长在非常敏感的表面上,例如聚合物薄 膜。 今天,Picosun的ALD大发3d应用在钟表部件、珠宝、硬币上进行 防着色,防腐蚀的装饰涂层。在生物植入医疗部件上的生物兼容、生物活性涂层。 致密、惰性、密封、弹性、透明的ALD薄膜大发3d挑战传统的膜 生长方式。在PCB防腐蚀保护、防摩损等领域,ALD层大大提升了部件的质量、可靠性及寿命。


产品参数

PICOSUN? ALD P-300 Pro大发3d参数(更多产品大发3d参数参考公司网站
衬底尺寸和类型最大300mm晶圆/单片
工艺温度50 - 500 °C
基片传送选件半自动装载,用单片Load lock与磁力操纵杆实现
25片晶圆盒对盒式全自动装载(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM? 300集群系统实现
标准SEMI S2认证
前驱体液态,固态,气态,臭氧源
等离子体(仅供200mm晶圆使用,最多4路气体)
前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务
6条独立源管线,最多加载8个前驱体源(最多12个前驱体源,加上plasma管路共7根独立源管线)
重量820 kg
尺寸(W x H x D)
160 cm x 80 cm x 240 cm
选件集群工具,PICOFLOW?扩散增强,N2发生器,尾气处理,定制设计,与工厂软件连接服务。
验收标准标准大发3d验收标准为Al2O3工艺,
其他工艺可具体协商:其他工艺、应用具体验收标准如:
--不均匀性
--颗粒物含量
--重金属污染
--电学性能



产品介绍

原子层沉积系统PICOSUN?- P系列ALD大发3d可以覆盖各种形状、各种表面的样品,可以覆盖最 细小的地方,最难到达的地方。具有高度的保形性、均一性及100%无针孔。这使得ALD可以应用于各种行业里,实现各种表面的保护。ALD薄膜可以附着在各种表面上,例如金属,玻璃,塑料,乃至纤维及粉末。作为气相、低温的沉积大发3d,ALD薄膜可以生长在非常敏感的表面上,例如聚合物薄 膜。 今天,Picosun的ALD大发3d应用在钟表部件、珠宝、硬币上进行 防着色,防腐蚀的装饰涂层。在生物植入医疗部件上的生物兼 容、生物活性涂层。 致密、惰性、密封、弹性、透明的ALD薄膜大发3d挑战传统的膜 生长方式。在PCB防腐蚀保护、防摩损等领域,ALD层大大提 升了部件的质量、可靠性及寿命。



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