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商品编号:50014
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AE Pinnacle 直流磁控电源

价    格:询价

产    地:美国更新时间:2019/7/15 13:41:34

品    牌:Advanced Energy型    号:AE

状    态:正常点击量:1930

18753191326
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济南堃康医疗器械有限公司

联 系 人:甘明

电     话:18753191326

传     真:0531-68629559

等     级: (第 4年)

性     质:生产型,

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Pinnacle直流磁控电源

产品型号:Pinnacle系列

Pinnacle® Plus+ Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus+ 电源为单体直流脉冲电源,为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点,包括使用简单、节约成本以及具有绝佳的灵活性。

优势

更高的沉积率与产品率

薄膜均匀性和品质一流 

成弧造成的基材损坏减少 

成本更低

系统整合容易

极佳的工艺灵活性和宽容度

重复性能

在过度曲线上运行稳定

吞吐量更高

便于监控

无与伦比的系统灵活性

特点

一个紧凑型封装

频率调节范围为 5-350kHz

占空比高达45%

电压范围宽——单输出宽阻抗范围 

大功率运行

基材温度低

单输出(5kW 和 10kW 型号)

用于双阴极生产的双输出(双路5kW 型号)

绝佳的弧控制

反应性溅射闭环控制


产品参数

Pinnacle系列直流磁控电源详细介绍

优势:

最低的运行和安装成本

业界最快的弧反应时间

可配置的弧反应参数

最大的工艺效率

精确的工艺控制

特点:

最低的存储能量,每千瓦输出不到1mJ

无需调节输出变压器

4:1的阻抗范围

靶材处理时间----最大限度地缩短新靶材的处理时间

±0.1%的输出重复性

Joule模式---最优化的能量传送

规格:

输入电压:200/208、400或480VAC (±10%)、3¢4线、50/60kHz

功率因素:负荷>90%

输出电压:低Z、标准Z或高Z

输出极性:浮动默认值,具有正和负功能

输出波纹电压:与输入线频有关,输出波纹电压分量<5%RMS

输出功率重复精度:0.1%,从设计功率到10%到100%

负荷调整:±1%,输出阻抗范围的V-1限值内4:1的负荷变化

温度系数:>20℃40℃的环境温度范围调整输出参数变化0.005%/℃

模拟接口选项:37针绝缘,0至10VDC模拟。0/24VDC数字

              37针绝缘,0至10VDC模拟。0/15VDC数字

37针绝缘,0至5VDC模拟。0/15VDC数字

串行通信选项:RS-232,RS-242,RS-485(可选波特率高达57.6K)

              AE Bus协议

              ASCII协议(MDX和仿真)

              Profibus(可选波特1.5或12MB) AE Bus协议

              具有DeviceNet选项

输出功率接头:三个终端、多个触点、可插入式接头、UHF、军用附件或接线环

输入功率接头:五个终端、DIN压缩接头

尺寸:133 x 483 x 639 mm (高x宽x长)

重量:25.9kg

Pinnacle:6kw、6/6kw、8kw、10kw、10/10kw、12kw、15kw、20kw




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