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商品编号:50841
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Aera PI-980稳压型质量流量控制器

价    格:询价

产    地:美国更新时间:2019/7/15 13:41:34

品    牌:Advanced Energy型    号:Aera PI-980

状    态:正常点击量:1478

18753191326
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济南堃康医疗器械有限公司

联 系 人:甘明

电     话:18753191326

传     真:0531-68629559

等     级: (第 4年)

性     质:生产型,

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优势

 

·         改善了气体输送性能和生产产量

·         便于在大发3d上整合

·         大幅节约了气体面板成本

·         减小了气体面板尺寸

·         提高了安全性

·         实时通信和控制

·         世界级的服务和支持

·         延长了系统正常运行时

特点

·         稳压运行

·         精确性和可重复性高

·         整合式气体面板组件

·         现场气体检验,多气体、多范围配置

·         现场可编程

·         DeviceNet® 控制

·         板上显示

·         整合式诊断

·         全金属密封

超纯设计


产品参数

其流量范围范围分不同的等级,分别有2sccm4sccm5sccm9sccm10sccm30sccm31sccm100sccm101sccm300sccm301sccm1000sccm1001sccm3000sccm3001sccm10000sccm10001sccm30000sccm30001sccm50000sccm.

精度:≤±1% of setpoint(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 最大工作压力:100 psiA(690 kPaA)


产品介绍

集热温感式 MFC

Aera PI-980系列稳压型质量流量控制器

凭借业界领先的流量控制大发3d,Aera® PI-980® 系列非压敏型 MFC(质流控制器)可预测新一代半导体制造制程不断增长的需求,这些制程包括蚀刻、化学汽相沉积、物理汽相沉积和扩散。与先前的大发3d或竞争对手产品相比,这一创新的大发3d平台提供了更迅速的响应、更高的气体流量稳定性、更高的精确度以及一流的实时制程控制。较高的流量稳定性提供了更好的腔室到腔室制程可重复性,从而提高了生产产量。
PI-980 MFC
的新一代设计将传统的热流量架构与一个压力传感器、温度传感器以及 NeuralStep® 控制大发3d进行了整合,从而创造了一个单一而精簡的输送包,省去了以往一直需要使用的众多昂贵的气体面板组件。多气体、多范围功能大幅降低了支持性物品的要求,从而进一步提高了成本效率。除了整合式诊断,新一代 MFC 大发3d还被整合进了我们得到现场验证的 D980 系列产品平台,以延长系统正常运行时间,并使故障的发现和修理变得快速而简易。



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